鉬靶材，鉬為銀白色金屬，鉬原子半徑為0.14nm，原子體積為235.5px/mol，配位數為8，晶體為Az型體心立方晶系，空間群為Oh（lm3m），至今還沒發現它有異構轉變．常溫下鉬的晶格參數在0.31467~0.31475nm之間，隨雜質含量而變化。鉬熔點很高，在自然界單質中名列第六，被稱作難熔金屬，見表2。鉬的密度為10.23g/cm，約為鎢的一半（鎢密度19.36g/cm）。鉬的熱膨脹系數很低，20~100℃時為4.9×10/℃；鉬的熱傳導率較高，為142.35w/(m·k) 。鉬電阻率較低：0℃時為5.17×-10Ω·cm；800℃時為24.6×-10Ω·cm；2400℃時為72×-10Ω·cm。鉬屬順磁體，99.99%純度的鉬在25℃時比磁化系數為0.93×10cm/g。鉬的比熱在25℃時為242. 8J/（kg·k）。鉬的硬度較大，摩氏硬度為5~5.5。鉬在沸點的蒸發熱為594kJ/mol；熔化熱為27.6 ±2.9kJ/mol；在25℃時的升華熱為659kJ/mol。鉬是發熱體、隔熱屏，它具有導電導熱性能優越、熱膨脹系數小，抗腐蝕性強等優點，主要用于電真空器件、高溫爐內發熱體、隔熱板、料舟等，用于制造鉬舟、電力半導體用鉬元片和制作電真空光源零件等。下圖是鉬濺射靶材的兩種典型的顯微金相檢測圖片，平均粒徑<100um。

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